超音波定在波を用いた自走式非接触リニアステージ
超音波定在波を用いた自走式非接触リニアステージ
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利用超声波驻波的自走式非接触式线性平台
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上羽貞行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小山大介;武井裕之;中村健太郎;上羽貞行
