M.Suzuki,H.Date,P.Ventzek,Y.Sakai and H.Tagashira: "Simulation of a laser ablation of Cl2 (solid) as a Possible Neutral Beam Source for Etching" 第48回 Gaseous Electronics Conference (Berkeley). 1553- (1995)
M.Suzuki,H.Date,P.Ventzek,Y.Sakai and H.Tagashira: "Simulation of a laser ablation of Cl2 (solid) as a Possible Neutral Beam Source for Etching" 第48回 Gaseous Electronics Conference (Berkeley). 1553- (1995)
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M.Suzuki、H.Date、P.Ventzek、Y.Sakai 和 H.Tagashira:“模拟 Cl2(固体)激光烧蚀作为可能的蚀刻中性束源”第 48 届气体电子会议(伯克利),1553 年。 (1995)
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