磁控溅射法制备Si_(1-x)Ge_x/B多层薄膜及其热电性能研究
磁控溅射法制备Si_(1-x)Ge_x/B多层薄膜及其热电性能研究
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王潇漾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杜鑫;苗蕾;刘呈燕;王潇漾
