HfO2 ベース新規誘電体薄膜の特性の評価
HfO2 ベース新規誘電体薄膜の特性の評価
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新型 HfO2 基介电薄膜的性能评估
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横内達彦;清水荘雄;及川貴弘;白石貴 久;舟窪浩
