氮化铝 MEMS 伸缩模式谐振器的研究现状
氮化铝 MEMS 伸缩模式谐振器的研究现状
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
Journal of Semiconductors
影响因子：
5.1
通讯作者：
宁瑾
宁瑾
中科院分区：
物理与天体物理4区
文献类型：
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作者：
张萌;韩国威;司朝伟;宁瑾
文献摘要
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