Development of a Plasma Diagnostics System Using an Impulse Waveform Voltage
Development of a Plasma Diagnostics System Using an Impulse Waveform Voltage
复制标题
使用脉冲波形电压的等离子体诊断系统的开发
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
et.al.
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Tokuzawa;et.al.