レーザプラズマ・同期CVDによる機能性BN薄膜

レーザプラズマ・同期CVDによる機能性BN薄膜
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激光等离子体/同步CVD制备功能BN薄膜

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡辺 隆行
渡辺 隆行
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小松 正二郎;佐藤 裕平;守吉 佑介;知京 豊裕;渡辺 隆行

文献摘要

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