フッ素化非晶質炭素薄膜の極低温合成および物性評価
フッ素化非晶質炭素薄膜の極低温合成および物性評価
复制标题
氟化非晶碳薄膜的深冷合成及物性评价
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
佐藤哲也
中科院分区:
文献类型:
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作者:
齋藤登之;年森隆明;小林直樹;佐藤哲也