Damage free PECVD based on atmospheric pressure non-theimal plasma and application to high-purity vertically-aligned single-walled carbon nanotube synthesis
Damage free PECVD based on atmospheric pressure non-theimal plasma and application to high-purity vertically-aligned single-walled carbon nanotube synthesis
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基于大气压非热等离子体的无损伤PECVD及其在高纯垂直排列单壁碳纳米管合成中的应用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Okazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohiro Nozaki. K Ohnishi;K.Okazaki
