The improvement of Al2O3/AlGaN/GaN MISHEMT performance by N-2 plasma pretreatment-猫眼课题宝

N-2等离子体预处理提高Al2O3/AlGaN/GaN MISHEMT性能

DOI：

发表时间：

期刊：

Chinese Physics B

影响因子：

1.7

通讯作者：

中科院分区：

物理与天体物理3区

文献类型：

作者：

Yue Yuan-Zheng;Hao Yue;Bi Zhi-Wei;Tian Yuan;Feng Qian;Ni Jin-Yu;Yang Lin-An;Zhang Jin-Cheng