Crack Formation Mechanism of Sputtered and Annealed AlN on c- and a-Plane Sapphire
Crack Formation Mechanism of Sputtered and Annealed AlN on c- and a-Plane Sapphire
复制标题
c、a 面蓝宝石上溅射退火 AlN 裂纹形成机制
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and A. Sakai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hayashi;T. Tohei;K. Uesugi;K. Shojiki;H. Miyake;and A. Sakai
