50μm gap 8×8 pixels deformable mirror fabricated by membrane transfer process
50μm gap 8×8 pixels deformable mirror fabricated by membrane transfer process
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薄膜转移工艺制作的50μm间隙8×8像素可变形镜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
呉同
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tong Wu;Takashi Sasaki;Masayuki Akiyama and Kazuhiro Hane;呉同
