Frequency scanning interferometry for accurate robot position measurement

Frequency scanning interferometry for accurate robot position measurement
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用于精确测量机器人位置的频率扫描干涉测量

DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 22nd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2022
影响因子：
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通讯作者：
Isa M.A.
Isa M.A.
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Isa M.A.

文献摘要

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