Preparation of superhard nanocomposite films by ICP assisted magnetron sputtering
Preparation of superhard nanocomposite films by ICP assisted magnetron sputtering
复制标题
ICP辅助磁控溅射制备超硬纳米复合薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Miyake
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Osamura et al.;K.Osamura et al.;K.Osamura et al.;K.Osamura et al.;Z.G.Li;K.Osamura et al.;K.Osamura et al.;S.Miyake;K.Osamura et al.;Z.G.Li;K.Osamura et al.;Z.G.Li;K.Osamura et al.;Z.G.Li;K.Osamura et al.;T.Doi et al.;S.Miyake
