電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第２報―
電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第２報―
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利用电场磨料控制技术对单晶蓝宝石衬底进行高效抛光-第二次报告-
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久住孝幸; 池田洋; 越後谷正見;中村竜太;赤上陽一;久住孝幸;久住孝幸 赤上陽一 松下大作 佐々木健二 照井伸太朗;久住孝幸，赤上陽一，松下大作，佐々木健二，照井伸太朗;池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里
