サブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究(第2報)―エンコーダ値に基づく周期的誤差の補正―
サブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究(第2報)―エンコーダ値に基づく周期的誤差の補正―
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亚微米级切削高精度研究(第2次报告)-基于编码器值的周期性误差修正-
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
廣岡大祐
中科院分区:
文献类型:
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作者:
徳森泰生;古城直道;山口智実;廣岡大祐