Development of 1.2-GHz ECR ion source and Wien filter for inexpensive ion beam processing system
Development of 1.2-GHz ECR ion source and Wien filter for inexpensive ion beam processing system
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开发用于廉价离子束处理系统的 1.2 GHz ECR 离子源和维恩滤波器
DOI：
10.1063/1.5127348
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发表时间：
2019
影响因子：
1.6
通讯作者：
Kato Yushi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Asaji Toyohisa;Uyama Hiroya;Umetsugu Takuro;Nakamura Tsubasa;Hitobo Takeshi;Kato Yushi
