Sensitivity improvement by complementary electrodes on deflected diaphragms of ultrasonic microsensors

Sensitivity improvement by complementary electrodes on deflected diaphragms of ultrasonic microsensors
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通过超声波微传感器偏转隔膜上的互补电极提高灵敏度

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
The 23rd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems
影响因子：
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通讯作者：
Nobuki Shimizu
Nobuki Shimizu
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H.Shimizu;Y.Nakano;Y.Takahashi;Y.Takahashi;澤口 直樹;M.Yokoyama;Y.Takahashi;T.Matsuda;D.Miura;安部 悟志;三浦 弘;梅川淳;Kaoru Yamashita;K.Yamashita;K.Yamashita;Kaoru Yamashita;Nobuki Shimizu

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