Experimental study of C_3 F_6 electron impact spectroscopy

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C_3 F_6电子轰击谱实验研究

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 45
影响因子:
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通讯作者:
H.Kato他
H.Kato他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A.Yamane;F.Shimojo;K.Hoshino;C.Makochekanwa他;乾 雅祝;C.Makochekanwa他;M.Inui;H.Kato他

文献摘要

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