ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化（第2報）ミクロな循環流れの存在について
ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化（第2報）ミクロな循環流れの存在について
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晶圆和抛光垫之间的凹凸区域中的浆料流动的可视化（第二次报告）关于微观循环流动的存在
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福田 明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Harada;Y.;K. Sato;T. Kinoshita;R. Yasui;T. Hirooka;and H. Naoe;福田 明
