Study on TiNx films and Ti target surface nitrided by rf dc coupled reactive magnetron sputtering-猫眼课题宝

DOI：

10.1116/1.581473

发表时间：

1998-10

期刊：

Journal of Vacuum Science and Technology

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

其他

文献类型：

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作者：

Masahiro Suzuki;Takeshi Tanaka;K. Kawabata