自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第5報) -位相利用高感度観察装置による検出-
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第5報) -位相利用高感度観察装置による検出-
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利用自主缺陷搜索和分割多探头的纳米异物检测研究（第五次报告） - 使用基于相位的高灵敏度观测设备进行检测 -
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
橘 一輝，浅井 祥平，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rajaei Nader;Hironaga Nomura;Shojiro Matsushita;Hiraku Komura;Masahiro Ohka and Tetsu Miyaoka;加藤崇平，大岡昌博;橘 一輝，浅井 祥平，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲
