フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC膜の膜質に及ぼす基板バイアスの影響
フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC膜の膜質に及ぼす基板バイアスの影響
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基底偏压对过滤电弧蒸镀法形成DLC膜膜质量的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柏木大幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Qi Zhang;Xiangdong Sun;Yanru Zhong;Biying Ren and Mikihiko Matsui;柏木大幸
