Comparative Study of Heteroepitaxially and Homoepitaxially Grown 3C-SiC Films
Comparative Study of Heteroepitaxially and Homoepitaxially Grown 3C-SiC Films
复制标题
异质外延与同质外延生长的3C-SiC薄膜的比较研究
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.389-393.323
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tetsuo Takahashi;Y. Ishida;H. Tsuchida;I. Kamata;H. Okumura;S. Yoshida;K. Arai
