UBMスパッタ法で形成した金属ガラス膜の膜質に与える成膜ガス種の影響
UBMスパッタ法で形成した金属ガラス膜の膜質に与える成膜ガス種の影響
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沉积气体类型对UBM溅射金属玻璃薄膜膜质的影响
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小畠淳平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎;小畠淳平;小畠淳平
