Fabrication of 3-D Microstructures by Shaped Beam Using Mask-less SR Lithography
Fabrication of 3-D Microstructures by Shaped Beam Using Mask-less SR Lithography
复制标题
使用无掩模 SR 光刻通过异形光束制造 3D 微结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Sugiyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Horade;S.Sugiyama
