Gas cluster ion beam etching of metals with pick-up cell
Gas cluster ion beam etching of metals with pick-up cell
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使用拾取池对金属进行气体团簇离子束蚀刻
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Toyoda and I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Yamamoto;K.Wakabayashi;Shuji Ogata;N. Toyoda and I. Yamada
