SiC/C多層薄膜センサの開発
SiC/C多層薄膜センサの開発
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SiC/C多层薄膜传感器的开发
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
塩田一路
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川島文華;八田博志;塩田一路
