石 丸 和 博: "無声放電によるリモートプラズマを用いたシリコン酸化膜のCVDに及ぼす減圧の影響"第38回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 38・I. 115-116 (2001)
石 丸 和 博: "無声放電によるリモートプラズマを用いたシリコン酸化膜のCVDに及ぼす減圧の影響"第38回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 38・I. 115-116 (2001)
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Kazuhiro Ishimaru：“减压对使用远程等离子体通过无声放电进行氧化硅膜的 CVD 的影响”第 38 届日本传热研讨会论文集 38・I 115-116（2001 年）。
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