Surface Ablation by Soft X-ray Laser Pulse for EUV nano-scale fabrication
Surface Ablation by Soft X-ray Laser Pulse for EUV nano-scale fabrication
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用于 EUV 纳米级制造的软 X 射线激光脉冲表面烧蚀
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木下 博雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
錦野 将元;石野 雅彦;タンフン ヂン;長谷川 登;坂上 和之;東口 武史;鷲尾 方一;木下 博雄
