MVP法により細穴内面に成膜されたDLC膜の軸方向の均一化
MVP法により細穴内面に成膜されたDLC膜の軸方向の均一化
复制标题
使用MVP方法在小孔内表面沉积DLC薄膜的轴向均匀性
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
梅原徳次
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
森一憲;上坂裕之;梅原徳次
