Development of a Non-Destructive Measuring Method of Electrically Detected Magnetic Resonance for a Semiconductor Wafer Using AC-Bias
Development of a Non-Destructive Measuring Method of Electrically Detected Magnetic Resonance for a Semiconductor Wafer Using AC-Bias
复制标题
使用交流偏压对半导体晶片进行电检测磁共振的无损测量方法的开发
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ohya H.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sato T.;Yokoyama H.;Ohya H.
