アノード酸化ポーラスアルミナをテンプレートとした金属触媒エッチングによるSiナノホールアレイの作製
アノード酸化ポーラスアルミナをテンプレートとした金属触媒エッチングによるSiナノホールアレイの作製
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以阳极氧化多孔氧化铝为模板，通过金属催化蚀刻制备硅纳米孔阵列
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野幸子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤原洸輔;阿相英孝;小野幸子
