Theoretical Approach of the Reduction of Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for Gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam
Theoretical Approach of the Reduction of Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for Gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam
复制标题
用于气体-FIB 形成气态纳米束的加速透镜系统中减少色差和球差的理论方法
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Takeru Ohkubo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T.Yanagida;A.Yoshikawa;Y.Yokota;K.Kamada;Y.Usuki;S.Yamamoto;M.Miyake;M.Baba;K.Sasaki;M.Ito;大久保猛;谷野孝徳;Takeru Ohkubo
