MICRO/NANO GLASS PRESSMOLDINGUSING SILICON CARBIDEMOLDS FABRICATED RY SILICON LOSTMOLDING

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微/纳米玻璃模压成型采用碳化硅模具制造 RY 硅消失模成型

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Proc.IEEE MEMS 2005
影响因子:
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通讯作者:
Masayoshi Esashi
Masayoshi Esashi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kyong-Oh Min;Shuji Tanaka;Masayoshi Esashi

文献摘要

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