デュアルカメラ技術を基礎としたスペックル干渉計測による電子デバイスの変形計測

デュアルカメラ技術を基礎としたスペックル干渉計測による電子デバイスの変形計測
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基于双摄像头技术的散斑干涉测量电子器件的变形测量

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
精密工学会誌
影响因子:
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通讯作者:
新井泰彦
新井泰彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
南貴士;本田真也;成田吉弘;佐藤太裕;新井泰彦

文献摘要

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