Alイオン注入SiC基板の逆格子マッピングによる歪状態の観察
Alイオン注入SiC基板の逆格子マッピングによる歪状態の観察
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通过倒易晶格映射观察 Al 离子注入 SiC 衬底的应变状态
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長町信治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋由美子;平野馨一;志村考功;長町信治
