Influence of silane partial pressure on the properties of amorphous SiCN films prepared by ECR-CVD
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DOI：
10.1016/s0040-6090(00)01277-3
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发表时间：
2000-12
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
D. Zhang;Y. Gao;Jun Wei;Z. Mo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Zhang;Y. Gao;Jun Wei;Z. Mo
