Ceramic MEMS new materials, innovative processing and future applications

Ceramic MEMS new materials, innovative processing and future applications
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DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
American Ceramic Society Bulletin
影响因子：
--
通讯作者：
L. Liew;Wenge Zhang;L. An;Tsali Cross;Artin L. Dann;V. Bright;J. Daily;R. Raj;Kristi Ansech
L. Liew;Wenge Zhang;L. An;Tsali Cross;Artin L. Dann;V. Bright;J. Daily;R. Raj;Kristi Ansech
中科院分区：
材料科学4区
文献类型：
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作者：
L. Liew;Wenge Zhang;L. An;Tsali Cross;Artin L. Dann;V. Bright;J. Daily;R. Raj;Kristi Ansech

文献摘要

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陶瓷被用于新兴的MEMS技术，因为它们具有不同的结构，化学和功能特性，并且因为基于陶瓷的创新加工正在导致低成本和灵活的制造方法。
Ceramics are used in emerging MEMS technologies because of their diverse structural, chemical and functional properties and because innovative precursor-based processing is leading to low-cost and flexible approaches to manufacturing.