奥居 徳昌: "マイクロメカニカルシステム" フジテクノシステム, P82-91,P438-446 (1992)
奥居 徳昌: "マイクロメカニカルシステム" フジテクノシステム, P82-91,P438-446 (1992)
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奥井纪正：《微机械系统》Fuji Techno System，P82-91，P438-446 (1992)
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