Control of Nanotexturing on DLC Surface by RF O_2 Plasma Using Thin Metal Layer
Control of Nanotexturing on DLC Surface by RF O_2 Plasma Using Thin Metal Layer
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使用薄金属层通过 RF O_2 等离子体控制 DLC 表面纳米纹理
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
針谷達
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toru Harigai;et. al.;針谷達;Toru Harigai;Yuki Yasuoka;Toru Harigai;安岡佑起;針谷達
