六方晶窒化ホウ素薄膜のサファイア基板上への高温化学気相成長におけるBCl3供給量依存性
六方晶窒化ホウ素薄膜のサファイア基板上への高温化学気相成長におけるBCl3供給量依存性
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蓝宝石衬底上六方氮化硼薄膜高温化学气相沉积过程中 BCl3 供给速率的依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李惠映;梅原直己;桑原伊織;光野徹也;小南裕子;中西洋一郎;原和彦
