進行波を利用した非接触流体軸受に関する研究- モジュール式の進行波圧電アクチュエータ及び精密スライダの開発
進行波を利用した非接触流体軸受に関する研究- モジュール式の進行波圧電アクチュエータ及び精密スライダの開発
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利用行波的非接触式流体轴承研究——模块化行波压电执行器和精密滑块的开发
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sencer Burak,鈴木 教和,社本 英二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小松 裕貴,加藤 大香士;Sencer Burak,鈴木 教和,社本 英二
