Post-thinning technique for a lifted-out membrane.
Post-thinning technique for a lifted-out membrane.
复制标题
用于剥离膜的后稀释技术。
DOI：
10.1093/jmicro/dfh085
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Anto Yasaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Sadayama;Y. Sugiyama;K. Iwasaki;Anto Yasaka
使用 Ga(+) 离子束在 5 kV 加速电压下开发了一种对已安装在网上的提升膜进行后减薄的新技术。它被应用于从硅动态随机存取存储器的选定单元制备透射电子显微镜样本。
A novel technique for post-thinning of lifted-out membranes already mounted on a mesh was developed using a Ga(+) ion beam at an accelerating voltage of 5 kV. It was applied to the preparation of transmission electron microscopy specimens from a selected cell of a silicon dynamic random-access memory.