塗布によるSiナノ結晶薄膜の作製 (I)
塗布によるSiナノ結晶薄膜の作製 (I)
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涂覆法制备硅纳米晶薄膜(一)
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤井 稔
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐々木 誠仁; 杉本 泰; 今北 健二; 藤井 稔