二重同軸給電方式マイクロ波放電における プラズマ分布の制御性能評価
二重同軸給電方式マイクロ波放電における プラズマ分布の制御性能評価
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双同轴馈电式微波放电等离子体分布控制性能评价
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹野
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鳴岩;松原;八坂;竹野
