分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の圧電評価
分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の圧電評価
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偏振轴取向四方PZT外延薄膜的压电评价
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪 浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大越 春香;舘山 明紀;白石 貴久;江原 祥隆;西田 謙;舟窪 浩
