Selective Deposition of MoSi2 Thin Films on Sapphire Substrate by Aerosol Deposition Method
Selective Deposition of MoSi2 Thin Films on Sapphire Substrate by Aerosol Deposition Method
复制标题
气溶胶沉积法在蓝宝石衬底上选择性沉积MoSi2薄膜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takumi AKAHORI; Yuuki SATO; Shinzo YOSHIKADO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小倉耀裕;佐藤祐喜;吉門進三;Takumi AKAHORI; Yuuki SATO; Shinzo YOSHIKADO
