Internal stress control of Transition Metal Thin Films
Internal stress control of Transition Metal Thin Films
复制标题
过渡金属薄膜的内应力控制
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Amano;Y. Ezaki;K.F. Sutrisna;Y. Shinohara;Y.Matsumura;酒井 彰崇,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,天野 真央,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;田綿 元貴,橋本 真希,豊田 椋一,落合 成行,松村 義人;豊田 椋一,天野 真央,望月 龍馬,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;天野 真央,豊田 椋一,松村 義人;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,松村 義人;天野 真央,松村 義人;Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura
