3λパラレルメカニズム形ステージのキャリブレーション機構設計(キャリブレーション用変位誤差測定法の検討)
3λパラレルメカニズム形ステージのキャリブレーション機構設計(キャリブレーション用変位誤差測定法の検討)
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3λ并联机构台标定机构设计（标定用位移误差测量方法研究）
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
武田行生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沈崗;武田行生
